激光干涉儀是一個交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的干擾能力強，精度高，測量結(jié)果可靠，在精度高要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。中圖儀器sj6000激光干涉儀品牌在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

應(yīng)用

數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進(jìn)行螺距誤差補償。

中圖儀器sj6000激光干涉儀品牌可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點是在具有強大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達(dá)到納米級,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

與不同光學(xué)附件結(jié)合，中圖儀器sj6000激光干涉儀品牌可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù)，更接近機床的實際使用狀態(tài)。位置精度是機床的重要指標(biāo)，目前各國機床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。因此，可以說用激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)。